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nEXT渦輪分子泵
型號:
nEXT系列
品牌:
愛德華(EDWARDS)
簡述:
nEXT渦輪分子泵是一種帶有復(fù)合牽引級和機(jī)載式控制器的混合軸承渦輪分子泵,抽速的范圍為47ls至1235ls它們?nèi)渴褂糜来派陷S承,能夠消除轉(zhuǎn)子頂部的碳?xì)浠衔?,對于下軸承,nEXT85~nEXT400使用油潤滑下軸承,實現(xiàn)可靠的高速操作,nEXT730/930/1230使用脂潤滑下軸承,可360°任意角度安裝。 機(jī)載控制器與TIC和TAG控制器直接通訊,可提供低成本系統(tǒng)集成。nEXT型號還允許用戶自主更換軸承和油盤,以降低運(yùn)行成本。
產(chǎn)品型號
- - 單位 nEXT55 nEXT85DN40 nEXT85DN63 nEXT240 nEXT300 nEXT400
真空數(shù)據(jù)
峰值抽速 N2 ls^-1 55 47 84 240 300 400
Ar ls^-1 55 44 80 230 280 380
He ls^-1 41 61 78 230 340 390
H2 ls^-1 27 49/44(D/H) 60/54(D/H) 165 280 325
壓縮比 N2 - >1.0E+11 >10^11 >10^11(D&T)
Ar - >1.0E+11 >10^11 >10^11(D&T)
He - 6.9E+05 8x10^6/2x10^7(D/H) 3x10^5/10^6(D/T) 10^6/3x10^6(D/T) 10^8/>10^8(D/T)
H2 - 2.9E+04 2x10^5/5x10^5(D/H) 10^4/10^5(D/T) 5x10^4/10^5(D/T) 5x10^5/10^6(D/T)
極限真空(CF) mbar <1e-7 <5x10^-10
最大允許前級壓力 N2 mbar 18 9.5/20(D/T)
電機(jī)數(shù)據(jù)
最大功耗 W 80(范圍50~120) 160(范圍50~200)
工作電壓 V直流 24~28
額定轉(zhuǎn)速 rpm 90000 60000
物理數(shù)據(jù)
重量(ISO/CF) kg 2.47/3.5 3 3/4.5 6/9 7/10
進(jìn)氣法蘭 - ISO63 NW40 ISO63或CF63 ISO100或CF100 ISO160或CF160
排氣法蘭 - NW16 NW25
磁場容差 mT 5
啟動到全速所需時間 s 115 145 175
安裝方向 - 進(jìn)氣法蘭垂直向上,可向左或向右旋轉(zhuǎn)90度,直到進(jìn)氣法蘭不超水平方向+/-2°
冷卻方式 - 風(fēng)冷/水冷 自然冷卻/強(qiáng)制風(fēng)冷/水冷
烘烤期間的進(jìn)氣法蘭允許最高溫度(僅限CF) - 水冷/強(qiáng)制空氣冷卻120/115℃
軸承技術(shù) - 永磁上軸承;油潤滑陶瓷下軸承
用戶可進(jìn)行維修軸承 - 允許
控制器類型 - 機(jī)載式
控制通訊接口 - RS232,485,I/O
可選控制通訊接口 - 外置Profibus
產(chǎn)品特點(diǎn)

磁力上軸承:確保清潔的真空環(huán)境、低功率和低振動

入口篩網(wǎng):作為標(biāo)配提供

經(jīng)過優(yōu)化的轉(zhuǎn)子設(shè)計:可實現(xiàn)高轉(zhuǎn)速和高壓縮比

適用于多種應(yīng)用的型號選擇:D =標(biāo)準(zhǔn)nEXT泵。H=優(yōu)化的轉(zhuǎn)子設(shè)計專用于輕氣體壓縮。T=擁有額外再生級,提高了壓縮比和背壓力能力

手動破空閥:破空接口以便在不損壞泵的前提下對泵進(jìn)行破真空,并且可更換為電磁閥,以便進(jìn)行全自動化對泵進(jìn)行破空

集成控制器:可提供并行的 I/O 或串行控制,或者也可以與TAG或TIC控制器的其中一個相連,以便輕松實現(xiàn)系統(tǒng)化

用戶可自主維護(hù):可采用較少的工具在現(xiàn)場更換軸承和油盒

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