- | - | 單位 | nEXT55 | nEXT85DN40 | nEXT85DN63 | nEXT240 | nEXT300 | nEXT400 | |
真空數(shù)據(jù) | |||||||||
峰值抽速 | N2 | ls^-1 | 55 | 47 | 84 | 240 | 300 | 400 | |
Ar | ls^-1 | 55 | 44 | 80 | 230 | 280 | 380 | ||
He | ls^-1 | 41 | 61 | 78 | 230 | 340 | 390 | ||
H2 | ls^-1 | 27 | 49/44(D/H) | 60/54(D/H) | 165 | 280 | 325 | ||
壓縮比 | N2 | - | >1.0E+11 | >10^11 | >10^11(D&T) | ||||
Ar | - | >1.0E+11 | >10^11 | >10^11(D&T) | |||||
He | - | 6.9E+05 | 8x10^6/2x10^7(D/H) | 3x10^5/10^6(D/T) | 10^6/3x10^6(D/T) | 10^8/>10^8(D/T) | |||
H2 | - | 2.9E+04 | 2x10^5/5x10^5(D/H) | 10^4/10^5(D/T) | 5x10^4/10^5(D/T) | 5x10^5/10^6(D/T) | |||
極限真空(CF) | mbar | <1e-7 | <5x10^-10 | ||||||
最大允許前級壓力 | N2 | mbar | 18 | 9.5/20(D/T) | |||||
電機(jī)數(shù)據(jù) | |||||||||
最大功耗 | W | 80(范圍50~120) | 160(范圍50~200) | ||||||
工作電壓 | V直流 | 24~28 | |||||||
額定轉(zhuǎn)速 | rpm | 90000 | 60000 | ||||||
物理數(shù)據(jù) | |||||||||
重量(ISO/CF) | kg | 2.47/3.5 | 3 | 3/4.5 | 6/9 | 7/10 | |||
進(jìn)氣法蘭 | - | ISO63 | NW40 | ISO63或CF63 | ISO100或CF100 | ISO160或CF160 | |||
排氣法蘭 | - | NW16 | NW25 | ||||||
磁場容差 | mT | 5 | |||||||
啟動到全速所需時間 | s | 115 | 145 | 175 | |||||
安裝方向 | - | 進(jìn)氣法蘭垂直向上,可向左或向右旋轉(zhuǎn)90度,直到進(jìn)氣法蘭不超水平方向+/-2° | |||||||
冷卻方式 | - | 風(fēng)冷/水冷 | 自然冷卻/強(qiáng)制風(fēng)冷/水冷 | ||||||
烘烤期間的進(jìn)氣法蘭允許最高溫度(僅限CF) | - | 水冷/強(qiáng)制空氣冷卻120/115℃ | |||||||
軸承技術(shù) | - | 永磁上軸承;油潤滑陶瓷下軸承 | |||||||
用戶可進(jìn)行維修軸承 | - | 允許 | |||||||
控制器類型 | - | 機(jī)載式 | |||||||
控制通訊接口 | - | RS232,485,I/O | |||||||
可選控制通訊接口 | - | 外置Profibus |
磁力上軸承:確保清潔的真空環(huán)境、低功率和低振動
入口篩網(wǎng):作為標(biāo)配提供
經(jīng)過優(yōu)化的轉(zhuǎn)子設(shè)計:可實現(xiàn)高轉(zhuǎn)速和高壓縮比
適用于多種應(yīng)用的型號選擇:D =標(biāo)準(zhǔn)nEXT泵。H=優(yōu)化的轉(zhuǎn)子設(shè)計專用于輕氣體壓縮。T=擁有額外再生級,提高了壓縮比和背壓力能力
手動破空閥:破空接口以便在不損壞泵的前提下對泵進(jìn)行破真空,并且可更換為電磁閥,以便進(jìn)行全自動化對泵進(jìn)行破空
集成控制器:可提供并行的 I/O 或串行控制,或者也可以與TAG或TIC控制器的其中一個相連,以便輕松實現(xiàn)系統(tǒng)化
用戶可自主維護(hù):可采用較少的工具在現(xiàn)場更換軸承和油盒