- | - | T-Station 85 | T-Station 300 | ||||||
泵對氮?dú)獬樗?/td> | - | 47ls^-1(NW40) | 300LS^-1(ISO100) | ||||||
- | 84ls^-1(ISO/CF63) | 300ls^-1(CF100) | |||||||
氮?dú)鈮嚎s比 | - | >1x10^11 | >1x10^11 | ||||||
前級泵抽速50Hz60Hz) | E2M1.5 | 1.6m^3 h^-1(1.2cfm) | |||||||
XDD1 | 1.2m^3 h^-1(0.9cfm) | ||||||||
- | mXDS3s | 3m^3 h^-1(3cfm) | |||||||
極限真空*(CF) | Dry ISO63 <5x10^-8mbar; Dry CF63 <5x10^-9mbar; Wet ISO63 <5x10^-9mbar; Wet CF63 <5x10^-10mbar | ISO100 <6x10^-8mbar;CF100 <5x10^-10mbar | |||||||
進(jìn)氣法蘭 | - | NW40,ISO63或CF63 | ISO100或CF100 | ||||||
排氣法蘭 | E2M1.5 | 11mmOD噴嘴或3/8英寸BSP | |||||||
XDD1 | 配備消音器或1/8英寸BSP | ||||||||
- | mXDS3s | 1/8英寸BSP | |||||||
重量 | E2M1.5系統(tǒng) | 21kg(最大值) | 29kg(最大值) | ||||||
XDD1系統(tǒng) | 17kg(最大值) | 24kg(最大值) | |||||||
- | mXDS3s | 19kg(最大值) | 26kg(最大值) | ||||||
噪音(在極限真空狀態(tài)下運(yùn)行時) | - | <=56dB(A) | <=56±3dB(A) | ||||||
密封性(靜態(tài)) | - | <1x10^-6mbar ls^-1 | |||||||
運(yùn)行環(huán)境溫度范圍 | 干泵 | 5-40℃ | |||||||
油泵 | 12-40℃ |
定制集成式控制器:可啟動/停止泵的單個專用按鈕;晰易讀且準(zhǔn)確的顯示屏;可選擇系緒自破空模式,在此模式下TAV5系統(tǒng)堿空磁間適合在無用戶干預(yù)的情況下的動統(tǒng)破空
高性能前級泵:前級泵可逸3m'h的無油渦旋干泵mXDS3s、干式隔膜系XDD1和油封旋片系E2M1.5
緊湊的外形:底板包括橡膠支腳和兩側(cè)內(nèi)便于微工適的開孔,打造了無懈可擊的緊湊外型而又穩(wěn)固的設(shè)計
用戶可維修:nEXT渦輪分子系,mXDS3s、XDD1千式隔膜泵和E2M1.5油封旋片泵都是用戶可維修的
集成式空氣冷卻器:集成式空氣冷卻器用于冷卻內(nèi)部源泵/控制器,可實(shí)現(xiàn)靜音操作,使用多個風(fēng)扇
堅固的金屬框架:采用全金屬框架,設(shè)計兼顧,經(jīng)用,不會開裂或斷裂
進(jìn)氣法蘭選項:提供NW40、IS063、CF63、ISO100、CF100進(jìn)氣法蘭以適配您的應(yīng)用