產(chǎn)品分類
推薦品牌
| - | 單位 | nXDS6i | nXDS10i | nXDS15i | nXDS20i | ||||
| 真空數(shù)據(jù) | |||||||||
| 峰值抽速 | m^3h^-1(cfm) | 6.2(3.6) | 11.4(6.7) | 15.1(8.9) | 22.0(13.0) | ||||
| 極限真空(1) | mbar(Torr) | 0.02(0.015) | 0.007(0.005) | 0.03(0.022) | |||||
| 極限真空（開氣鎮(zhèn)） | mbar(Torr) | 0.05(0.038) | 0.04(0.03) | 0.06(0.045) | |||||
| 最高可抽取水蒸氣壓力 | mbar(Torr) | 35(26) | 20(15) | ||||||
| 水蒸氣處理量 | gh^-1 | 110 | 145 | 240 | 220 | ||||
| 最大連續(xù)入口壓力(2) | mbar(Torr) | 200(150) | 50(38) | ||||||
| 最大氣鎮(zhèn)/氣體吹掃壓力 | bar表壓(psig) | 0.5(7) | |||||||
| 電機(jī)數(shù)據(jù) | |||||||||
| 電源電壓 | V | 100-127/200-240(+/-10%) | |||||||
| 電源頻率 | Hz | 50/60 | |||||||
| 額定轉(zhuǎn)速 | rpm | 1800 | |||||||
| 最低待機(jī)轉(zhuǎn)速 | rpm | 1200 | |||||||
| 轉(zhuǎn)速控制精度 | % | 1 | |||||||
| 極限真空狀態(tài)下運(yùn)行功率 | W | 260 | 280 | 300 | 260 | ||||
| 電機(jī)功率 | W | 660 | |||||||
| 電源連接器 | - | IEC EN60320 C13 | |||||||
| 推薦保險(xiǎn)絲，230V(115V) | A | 10(13) | |||||||
| 物理數(shù)據(jù) | |||||||||
| 重量 | kg（lb) | 26.2(58) | 25.8(57) | 25.2(56) | 25.6(56) | ||||
| 進(jìn)氣法蘭 | - | NW25 | |||||||
| 排氣法蘭 | - | NW25 | |||||||
| 噪聲（極限真空狀態(tài)下運(yùn)行） | dB(A) | 52 | |||||||
| 噪聲（帶隔音罩） | dB(A) | 47 | |||||||
| 進(jìn)氣法蘭處的振動(dòng) | mms^-1(rms) | <4.5 | |||||||
| 密封性（靜態(tài)） | mbar ls^-1 | <1x10^-6 | |||||||
| 運(yùn)行環(huán)境溫度范圍 | ℃（℉） | 5至40 (41至104) | |||||||
| (1)測(cè)量的是全壓力 | |||||||||
| (2)這些泵設(shè)計(jì)的是從大氣壓力下開始抽氣，但是長(zhǎng)時(shí)間的進(jìn)氣壓力高于指定值會(huì)縮短軸承的壽命 | |||||||||
溫控風(fēng)扇：可以在低負(fù)載條件下降低風(fēng)扇轉(zhuǎn)速，從而使最小噪聲降至僅52 dB(A)
軸承罩：可確保將制程氣體與軸承潤(rùn)滑劑相分離，以確保清潔的真空環(huán)境，并避免制程氣體中的污染物進(jìn)入潤(rùn)滑劑中，從而延長(zhǎng)軸承的使用壽命
變頻器驅(qū)動(dòng)：全球范圍內(nèi)泵性能完全相同、易于控制、功耗降低和自動(dòng)電壓調(diào)整特性，從而有助于打造優(yōu)秀用戶體驗(yàn)
優(yōu)化渦盤設(shè)計(jì):轉(zhuǎn)速提高，極限真空比初代提高一個(gè)數(shù)量級(jí)，較低極限壓力僅為7x10^3mbar
優(yōu)化端面密封技術(shù):使用壽命發(fā)生顯著變化，就大多數(shù)應(yīng)用而言，典型的端面密封條使用壽命達(dá)到2年以上
高流量氣鎮(zhèn)特性:可以最高220 gh^-1的速度抽取蒸氣(包括水蒸氣)
