- | 單位 | XDS35i | XDS35iE | XDS46i | |||||
真空數(shù)據(jù) | |||||||||
峰值抽速 | m^3h^-1(cfm) | 35(21) | 35(21) | 40(23.5) | |||||
極限真空(1) | mbar(Torr) | 0.01(0.008) | 0.03(0.02) | 0.05(0.04) | |||||
極限真空(開氣鎮(zhèn)1) | mbar(Torr) | 0.02(0.015) | 0.04(0.03) | 0.08(0.06) | |||||
極限真空(開氣鎮(zhèn)2) | mbar(Torr) | 10(7.5) | |||||||
最高可抽取水蒸氣壓力 | mbar(Torr) | 35(23) | 35(23) | 40(30) | |||||
水蒸氣處理量 | gh^-1 | 240 | |||||||
最大連續(xù)入口壓力(2) | mbar(Torr) | 40(30) | 1000(760) | 40(30) | |||||
最大氣鎮(zhèn)/氣體吹掃壓力 | bar表壓(psig) | 0.5(7) | |||||||
電機(jī)數(shù)據(jù) | |||||||||
電源電壓 | V | 100-120/200-240(+/-10%) | |||||||
電源頻率 | Hz | 50/60 | |||||||
額定轉(zhuǎn)速 | rpm | 1750 | |||||||
極限真空狀態(tài)下運(yùn)行功率 | W | 440 | 380 | ||||||
電機(jī)功率 | W | 520 | |||||||
電源連接器 | - | IEC EN60320 C19 | |||||||
推薦保險(xiǎn)絲,230V(115V) | A | 16(3)20 | 16(3)15 | 16(3)20 | |||||
物理數(shù)據(jù) | |||||||||
重量 | kg(lb) | 48(105) | |||||||
進(jìn)氣法蘭 | - | NW40 | |||||||
排氣法蘭 | - | NW25 | |||||||
噪聲(在極限真空狀態(tài)下運(yùn)行) | dB(A) | 57 | 55.4 | ||||||
噪聲(帶隔音罩) | dB(A) | 48 | 46.4 | ||||||
進(jìn)氣法蘭處的振動(dòng) | mms^-1(rms) | <4.5 | |||||||
密封性(靜態(tài)) | mbar ls^-1 | <1x10^-6 | |||||||
運(yùn)行環(huán)境溫度范圍 | ℃(℉) | 10至40(50至104) | |||||||
(1)測(cè)量的是全壓力 | |||||||||
(2)這些泵設(shè)計(jì)的是從大氣壓力下開始抽氣,但是長時(shí)間的進(jìn)氣壓力高于指定值會(huì)縮短軸承的壽命 | |||||||||
(3)若使用英式240V電源,請(qǐng)使用13A保險(xiǎn)絲 |
軸承罩:可確保將制程氣體與軸承潤滑劑相分離,以確保清潔的真空環(huán)境,并避免制程氣體中的污染物進(jìn)入潤滑劑中,從而延長軸承的使用壽命
變頻器驅(qū)動(dòng):全球范圍內(nèi)泵性能完全相同,具有泵過載保護(hù)和遠(yuǎn)程啟動(dòng)/停止功能
高流量氣鎮(zhèn)特性:可以最高240gh^-1的速度抽取蒸氣(包括水蒸氣)
獨(dú)特的軸向氣隙電機(jī):減小了整體泵尺寸,并且降低了功率和噪聲
簡單的單端雙渦旋設(shè)計(jì):可在幾分鐘內(nèi)完成維護(hù)工作,從而降低運(yùn)行成本并盡可能延長正常運(yùn)行時(shí)間
雙入口和旁通閥技術(shù):XDS35IE適用于大腔體的抽氣,防止氣體過度壓縮,提高泵的效率和抽速,延長軸承的使用壽命