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XDS干式渦旋泵
型號(hào):
XDS系列
品牌:
愛德華(EDWARDS)
簡述:
XDS35i泵具有創(chuàng)新的軸承罩,可將真空環(huán)境與所有形式的潤滑劑隔離開來,創(chuàng)造了一個(gè)完全靜態(tài)密封和完全無油清潔的真空環(huán)境。針對(duì)稀有氣體再循環(huán)和氣體回收等應(yīng)用,XDS35i-NGB選配型取消了氣鎮(zhèn)。 C型是改進(jìn)型,更適用于水蒸氣以及某些具有腐蝕性物質(zhì)的應(yīng)用。這個(gè)耐化學(xué)腐蝕的版本是基于Chemraz內(nèi)閥以及不銹鋼材料的出氣口。 XDS46i與XDS35i有許多共同特性,但前者的峰值抽速達(dá)到40m^3h^-1。該泵針對(duì)最大抽速(入口壓力介于1mbar至10 mbar之間)進(jìn)行了優(yōu)化,使其超卓適用于渦輪分子泵的前級(jí)泵。 XDS35i增強(qiáng)版(XDS35iE)具有雙入口和旁通閥技術(shù),使其能夠處理標(biāo)準(zhǔn)XDS35i泵工作范圍以外的應(yīng)用,例如防止在較高操作壓力和較大吞吐量時(shí)氣體在渦旋裝置中的過度壓縮。XDS35iE能夠在不受真空室大小或循環(huán)抽氣頻率限制的情況下工作。這給我們的客戶提供了更多從XDS渦旋干泵技術(shù)中受益的機(jī)會(huì)。
產(chǎn)品型號(hào)
- 單位 XDS35i XDS35iE XDS46i
真空數(shù)據(jù)
峰值抽速 m^3h^-1(cfm) 35(21) 35(21) 40(23.5)
極限真空(1) mbar(Torr) 0.01(0.008) 0.03(0.02) 0.05(0.04)
極限真空(開氣鎮(zhèn)1) mbar(Torr) 0.02(0.015) 0.04(0.03) 0.08(0.06)
極限真空(開氣鎮(zhèn)2) mbar(Torr) 10(7.5)
最高可抽取水蒸氣壓力 mbar(Torr) 35(23) 35(23) 40(30)
水蒸氣處理量 gh^-1 240
最大連續(xù)入口壓力(2) mbar(Torr) 40(30) 1000(760) 40(30)
最大氣鎮(zhèn)/氣體吹掃壓力 bar表壓(psig) 0.5(7)
電機(jī)數(shù)據(jù)
電源電壓 V 100-120/200-240(+/-10%)
電源頻率 Hz 50/60
額定轉(zhuǎn)速 rpm 1750
極限真空狀態(tài)下運(yùn)行功率 W 440 380
電機(jī)功率 W 520
電源連接器 - IEC EN60320 C19
推薦保險(xiǎn)絲,230V(115V) A 16(3)20 16(3)15 16(3)20
物理數(shù)據(jù)
重量 kg(lb) 48(105)
進(jìn)氣法蘭 - NW40
排氣法蘭 - NW25
噪聲(在極限真空狀態(tài)下運(yùn)行) dB(A) 57 55.4
噪聲(帶隔音罩) dB(A) 48 46.4
進(jìn)氣法蘭處的振動(dòng) mms^-1(rms) <4.5
密封性(靜態(tài)) mbar ls^-1 <1x10^-6
運(yùn)行環(huán)境溫度范圍 ℃(℉) 10至40(50至104)
(1)測(cè)量的是全壓力
(2)這些泵設(shè)計(jì)的是從大氣壓力下開始抽氣,但是長時(shí)間的進(jìn)氣壓力高于指定值會(huì)縮短軸承的壽命
(3)若使用英式240V電源,請(qǐng)使用13A保險(xiǎn)絲
產(chǎn)品特點(diǎn)

軸承罩:可確保將制程氣體與軸承潤滑劑相分離,以確保清潔的真空環(huán)境,并避免制程氣體中的污染物進(jìn)入潤滑劑中,從而延長軸承的使用壽命

變頻器驅(qū)動(dòng):全球范圍內(nèi)泵性能完全相同,具有泵過載保護(hù)和遠(yuǎn)程啟動(dòng)/停止功能

高流量氣鎮(zhèn)特性:可以最高240gh^-1的速度抽取蒸氣(包括水蒸氣)

獨(dú)特的軸向氣隙電機(jī):減小了整體泵尺寸,并且降低了功率和噪聲

簡單的單端雙渦旋設(shè)計(jì):可在幾分鐘內(nèi)完成維護(hù)工作,從而降低運(yùn)行成本并盡可能延長正常運(yùn)行時(shí)間

雙入口和旁通閥技術(shù):XDS35IE適用于大腔體的抽氣,防止氣體過度壓縮,提高泵的效率和抽速,延長軸承的使用壽命

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