泵對(duì)氮?dú)獬樗?/td> | nEXT85 NW40 | 47ls^-1 | |||||||
nEXT85 ISO/CF63 | 84ls^-1 | ||||||||
nEXT300 ISO/CF100 | 300ls^-1 | ||||||||
氮?dú)鈮嚎s比 | - | >1x10^11 | |||||||
前級(jí)泵抽速 | RV5 | 5.1m^3h^-1(3.6cfm) | |||||||
RV6 | 8m^3h^-1(3.6cfm) | ||||||||
RV12 | 12m^3h^-1(8.4 cfm) | ||||||||
nXDS6i | 6.2m^3h^-1(3.6 cfm) | ||||||||
nXDS10i | 11.4m^3h^-1(6.7 cfm) | ||||||||
nXDS15i | 15.1m^3h^-1(8.9 cfm) | ||||||||
極限真空(CF) | - | <5x10^10mbar | |||||||
進(jìn)氣法蘭 | - | NW40,ISO/CF63,ISO100 | |||||||
排氣法蘭 | - | NW25 | |||||||
重量 | RV/nXDS | 41.2kg至55kg | |||||||
噪音(在極限真空狀態(tài)下運(yùn)行時(shí) | - | ≤56dB(A) | |||||||
密封性(靜態(tài)) | - | <1x10^-6mbar ls^-1 | |||||||
運(yùn)行環(huán)境溫度范圍 | - | 12至40℃ |
集成控制:可根據(jù)應(yīng)用場(chǎng)景設(shè)置自動(dòng)流程,一鍵啟動(dòng)
破空閥選項(xiàng):可選擇破空閥加速分子泵停機(jī),提高效率
用戶(hù)可維修:渦輪分子泵可由用戶(hù)自行維修,減少使用成本
低振動(dòng):前級(jí)泵安裝在防振動(dòng)底座上,能夠有效降低前級(jí)泵振動(dòng)對(duì)泵車(chē)產(chǎn)生的影響