入口法蘭 | nEXT300 | DN100ISO/DN100CF | |||||||
nEXT730 | DN160ISO/DN160CF | ||||||||
nEXT930 | DN200ISO/DN200CF | ||||||||
排氣法蘭 | - | NW25 | |||||||
入口抽速(N2) | nEXT300(ISO/CF) | 300ls^-1/300ls^-1 | |||||||
nEXT730(ISO/CF) | 730ls^-1/690ls^-1 | ||||||||
nEXT930(ISO/CF) | 925ls^-1/870ls^-1 | ||||||||
極限真空 | nEXT300(ISO/CF) | 6x10^-8/5x10^-10mbar | |||||||
nEXT730(ISO/CF) | 7x10^-9/3x10^-10mbar | ||||||||
nEXT930(ISO/CF) | 7x10^-9/3x10^-10mbar | ||||||||
電源 | - | 220-240V AC 50/60Hz | |||||||
前級(jí)泵抽速50Hz(60Hz) | nXDS6i/10i/15i | 6/11.4/15.1m^3h^-1 | |||||||
nXR30i/60i/90i | 30/60/90m^3h^-1 | ||||||||
XDS35i | 35m^3h^-1 | ||||||||
重量 | - | 最大165kg | |||||||
噪音(在極限真空狀態(tài)下運(yùn)行時(shí)) | - | ≤56dB(A) | |||||||
密封性(靜態(tài)) | - | <1x10^-6mbar ls^-1 | |||||||
運(yùn)行環(huán)境溫度范圍 | - | 12至40℃ |
分子泵選擇范圍寬:分子泵抽速范圍300-930ls^-1,法蘭尺寸從DN100到DN200
多種前級(jí)泵可選:前級(jí)泵的抽速可從6-90m^3h^-1進(jìn)行選擇
簡(jiǎn)單易用的操控系統(tǒng):觸控界面,一鍵啟動(dòng),提供分子泵前級(jí)泵和多種真空計(jì)的數(shù)據(jù)監(jiān)測(cè),同時(shí)提供遠(yuǎn)程串口通訊
破空閥選項(xiàng):可選擇破空閥加速分子泵停機(jī),提高效率
用戶自行維護(hù):所有的渦輪分子泵和前級(jí)泵都可由用戶自行維護(hù)