- | 單位 | 5S | 10S | 25S | 45S | 75S | 100L200L | 200L | 300L |
抽速 | ls^-1 | 4-5 | 8-10 | 15-20 | 30-40 | 40-75 | 80-100 | 160-200 | 240-300 |
進(jìn)氣法蘭 | |||||||||
DN40(2.75英寸) | - | 2V | 2H | 2V,2H或2D | 2V或2D | - | - | - | |
DN63(4.5英寸) | - | - | - | 4V或4D | - | - | - | ||
DN100(6英寸) | - | - | - | - | - | 65或62 | 6S,6D | - | - |
DN160(8英寸) | - | - | - | - | - | - | - | 8S,8D | 8S,8D |
極板選項(xiàng) | |||||||||
TiTan CV(鈦/鈦極板) | |||||||||
TiTan Dl(鈦/鉭 極板) | |||||||||
TiTan CVX (低磁 鈦/鈦極板) | |||||||||
TiTan DlX(低磁鈦/ 鉭 極板) | |||||||||
TiTan TR (鈦/鈦/鈦極板) | |||||||||
真空電極選型 | |||||||||
SC 10kV SAFECONN | |||||||||
OP Perkin Elmer | |||||||||
OV Old Varian | |||||||||
VR Varian StarCell | |||||||||
Fl Fisher Interlock | |||||||||
內(nèi)部加熱器選件 | |||||||||
內(nèi)部 TSP/NEG選件 | |||||||||
重量 | kg(lbs) | 2.3(5) | 6(13) | 9(20) | 16(34) | 22(48) | 29(65) | 50(112) | 66(145) |
裝運(yùn)重量 | kg(lbs) | 2.8(6) | 8(17) | 11(24) | 18(39) | 25(55) | 47(105) | 69(152) | 89(195) |
極限真空 | mbar | <1x10^-11 | |||||||
啟動壓力 | mbar | <1x10^-3 | |||||||
使用壽命(在1x10^-6mbar真空條件下的工作時(shí)間) | h | Diode/Noble Diode 50,000; Triode 80,000 | |||||||
工作加熱溫度 | ℃ | 200 | 250 | ||||||
最高加熱溫度(6) | ℃ | 450 | |||||||
尺寸(長x寬x深) | mm |
消除了機(jī)械振動:捕集型泵上沒有移動部件。消除了移動部件產(chǎn)生的振動和電氣噪聲
抗輻射性強(qiáng):捕集型泵由能夠承受超過10^8Grays的抗輻射材料組裝而成。連接器和電纜同樣由抗輻射材料組裝而成,可長期持續(xù)工作
耐高溫:在沒有任何特殊考慮的情況下,捕集型泵可以加熱至250C。取下磁體可使加熱器加熱至450℃。長時(shí)間加熱烘烤對每個(gè) UHV 系統(tǒng)都至關(guān)重要。
免除日常維護(hù):捕集型泵幾乎無需維護(hù),并且由于與大氣完全隔絕,因此可以避免產(chǎn)生成本高昂的真空故障,從而節(jié)省了時(shí)間、成本和資源
低初始成本和運(yùn)營成本:初始成本通常低于同類規(guī)格的其他類型真空泵,它們盡可能少地耗費(fèi)功率或完全不耗費(fèi)功率以實(shí)現(xiàn)多年以來的低成本操作